Geräteverwaltung, prozessspezifisch
INFICON Sensor Integration and Analysis Systems bieten Prozessüberprüfung und -steuerung für die Prozessoptimierung, einschließlich Durchlauf-zu-Durchlauf-Steuerung für wichtige Prozessparameter. Außerdem stellen sie unmittelbar automatisches Feedback zu erkannten Fehlern und deren möglicher Ursache für Prozessgeräte oder einen Prozesstechniker bereit.
Das FabGuard Sensor Integration and Analysis System erfasst Daten von lokalen Sensoren, integriert diese in Daten der Prozessgeräte und verdichtet und analysiert die zusammengestellten Daten, um den Prozesstechniker mit aussagekräftigen Informationen zu versorgen. Wahlweise kann FabGuard so konfiguriert werden, dass es Steuerungsbefehle direkt an die Prozessgeräte sendet.
Leistungsstarke Datenverwaltung für verbesserte Produktivität
Ziehen Sie Vorteile aus Ihren Daten. Das FabGuard Sensor Integration and Analysis System steigert die Geräteproduktivität durch Bereitstellung von Prozesssteuerung und verringert Verluste durch Prozessabweichungen, Verunreinigungen, Gerätestörungen oder unnötige Testwafer.
FabGuard überwacht und steuert Ihre Prozesse kontinuierlich. Zunächst sammelt FabGuard automatisch alle verfügbaren Daten der INFICON-Sensoren und der integrierten Sensoren der Geräte. Diese Daten werden gespeichert, und die Analyseergebnisse werden in einer durchsuchbaren SQL-Datenbank abgelegt. Diese Informationen können mithilfe einer einzigen, konsistenten und einfach zu bedienenden Benutzeroberfläche angezeigt werden. FabGuard analysiert die Daten anschließend mithilfe von hoch entwickelten physikalischen Modellen und statistischen Methoden und sucht dabei nach Korrelationen zwischen einer Vielzahl von Parametern. Außerdem wird der Prozess Sekundengenau mit einem Modell verglichen, das aus früheren Durchläufen entwickelt wurde. Mithilfe dieser robusten Techniken kann FabGuard zuverlässig Prozessereignisse erkennen. Diese können für die Prozesssteuerung verwendet werden, um Abweichungen schnell zu erkennen und dabei deutlich weniger Fehlalarme auszulösen.
Verwalten Sie Ihre Prozesse, ein Gerät oder Ihre gesamte Werksumgebung. Die fortschrittliche Datenanalyse von FabGuard bietet zuverlässige Informationen, mit denen die Prozesssteuerung durch ereignisbasierte Techniken (z. B. Endpunkterkennung), Go/No-Go-Techniken und statistische Prozesssteuerung um Durchlauf-zu-Durchlauf-Steuerung, Echtzeit-Fehlererkennung und Änderungen an laufenden Prozessen erweitert werden kann. Dies führt zu stabileren Prozessen und schnellerer Problemerkennung, ohne dass intensiv Testwafer eingesetzt werden müssen oder die Konfigurationsdauer ansteigt. So kann die Ausbeute erhöht werden.
FabGuard-Funktionen auf einen Blick
- Durchlauf-zu-Durchlauf- und Echtzeit-Analyse für Prozesssteuerung und Fehlersuche reduziert den Ausschuss und verbessert die Prozesssteuerung
- Die automatisierte Datenerfassung und -speicherung für historische Dateien dient der Erweiterung von statistischen Prozesssteuerungsdaten, die von verschiedenen Sensoren stammen. Dies verringert Hardwareredundanzen, während sämtliche Daten von Prozess- oder Fertigungsgeräten für einfachen Zugriff und problemlose Analysen integriert werden können.
- Eine einzige Benutzeroberfläche für sämtliche Gerätedaten senkt die Lernkurve
- Klassifizierung von Fehlern zur schnellen Reaktion auf Probleme verringert Ausfallzeiten
- Gesamteindruck der Geräte- und Prozessintegrität zur Unterstützung vorbeugender Wartungsarbeiten
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools
English
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Brochure - FabGuard Sensor Integration and Analysis System
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Technical Note - DC Power Fault Detected by FabGuard
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Technical Note - Detecting Contamination in a Transfer Chamber by a CVD Chamber Using FabGuard
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Technical Note - FabGuard Data Management
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Technical Note - FabGuard HYT In Situ Particle Monitor and Tool Data Sensor
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Technical Note - FabGuard Sensor Integration and Analysis System: Return on Investment
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Technical Note - FabGuard Tool Data Sensor for Equipment Data Collection and Diagnostics
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Technical Note - Principal Component Analysis for Fault Detection on Implanter with FabGuard
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Technical Note - Statistical Process Control with FabGuard
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Application Note - Achieving Process Understanding and Real-time Fault Detection on a PVD Tool
English
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