Fabwide, prozessspezifisch
FabGuard FDC kombiniert Onlinefunktionen zur Fehlererkennung und -klassifizierung mit leistungsstarken Tools für Werksingenieure, um praktisch jeden Aspekt des Prozess- und Ausrüstungsverhaltens zu analysieren. Das beste System zum Verringern von Waferverlusten, Reduzieren ungeplanter Ausfallzeiten und Erhöhen der Ausbeute.
Unabhängig von der Größe der Wafer und der Produktgeometrie sind rechtzeitige Informationen für die Produktivität und Wettbewerbsfähigkeit eines Werks von entscheidender Bedeutung. Durch den zunehmenden Druck, die Kosten zu senken, ist es wichtig, die Werksproduktivität zu steigern, indem die Anzahl aussortierter Wafer verringert und die Geräteauslastung maximiert wird. Die heutigen Herausforderungen bei der Halbleiterherstellung werden von einem einzigen FabGuard-System erfüllt, das die gesammelten Erfahrungen von Statistikern und Technikern nutzt, um die Produktivität maximal zu steigern. FabGuard FDC basiert auf umfangreichem Fachwissen über Prozess und Ausrüstung, das für einen reibungslosen Werkbetrieb unerlässlich ist.
Die Neudefinition von FDC - FabGuard Detection and Classification
FabGuard FDC ermöglicht technische Erkennung und Klassifizierung auf allen Ebenen von detaillierten, praktischen, kammerspezifischen Kenntnissen bis hin zu werksweiter statistischer Prozesssteuerung.
FabGuard FDC ist das einzige System, das Abtastfunktionen von werksweiten FDC-Systemen mit gerätespezifischen Datenanalysefunktionen für Verfahrenstechnik und Gerätefehlerbehebung miteinander kombiniert. Etablierte Methoden der statistischen Prozesssteuerung können im FabGuard auf einfache Weise programmiert werden, mit dem zusätzlichen Vorteil der Geräteabschaltung in Echtzeit. Waferverluste werden deutlich reduziert, wenn die Geräteabschaltung bei Erkennen eines Fehlers sofort aktiviert wird. Wenn eine nicht kontrollierbare Bedingung erkannt wird, kann FabGuard FDC umgehend reagieren, um fehlerhafte Geräte anzuhalten.
Das FabGuard FDC Expert System lernt Ihren Prozess und erkennt Probleme
Die Regeln der statistischen Prozesssteuerung werden häufig als Primärschutz zur Verhinderung von Produktverlusten eingesetzt. FabGuard FDC bietet eine zusätzliche Schutzebene - den lernfähigen Expert System FDC Builder. Werksingenieure können FabGuard FDC so programmieren, dass neue Probleme beim ersten Auftreten identifiziert und automatisch wiedererkannt werden, wenn sie nochmals auftreten. Das Fachwissen der Werksingenieure über Fehlerbehebungen kann auf einfache Weise in FabGuard FDC-Rezepturen übersetzt werden, um jeden Prozessschritt in jeder Kammer an jedem Gerät zu überwachen. Bei der parallelen Ausführung mit einer Geräteabschaltung auf der Grundlage von statistischer Prozesssteuerung können Prozess- und Gerätetechniker das FabGuard FDC Expert System so programmieren, dass Probleme festgestellt werden, die allein mit den Methoden der statistischen Prozesssteuerung möglicherweise nicht erkannt werden. Werksingenieure verfügen über das notwendige Fachwissen, um Geräte und Waferprozesse so fehlerfrei wie möglich auszuführen. Mit dem FabGuard FDC Expert System kann dieses technische Fachwissen in Programmen angewendet werden, die einen zusätzlichen Waferschutz und bessere Fehlererkennung gewährleisten.
FabGuard FDC Fabwide
Das FabGuard FDC-System kann auf Werksebene kontinuierlich für statistische Prozesssteuerung in Echtzeit auf allen Waferprozessgeräten eingesetzt werden. Über eine einzige Benutzeroberfläche können Techniker Geräte- und Prozessdaten auf flexible und bequeme Weise sortieren, anzeigen und analysieren.
- Werksingenieure erhalten eine leistungsstarke, gerätebasierte Datenvisualisierung sowie die Fähigkeit, alle Aspekte des Geräte- und Prozessverhaltens zu analysieren.
- Prozesstechniker können unmittelbar die Beziehungen zwischen Gerätestatus und Waferausbeute ermitteln.
- Gerätetechniker können Gerätefehler schnell diagnostizieren, um ungeplante Ausfallzeiten zu reduzieren. Prozesskammern können verglichen und aufeinander abgestimmt werden.
Skalierbarkeit, Nachhaltigkeit
Daten werden archiviert, und Analyseergebnisse werden in einer Microsoft ® SQL- oder Oracle ®-Datenbank gespeichert. Hardwareredundanz wird durch ein gerätebasiertes System eliminiert, das leicht von einem Gerät auf mehrere Hundert Geräte im gesamten Werk skaliert werden kann. FDC-Techniker können alle Informationen über eine einzige, benutzerfreundliche Oberfläche anzeigen und durchsuchen. Das einheitliche Format verbessert die Lernkurve und erleichtert das Freigeben von Informationen zwischen verschiedenen Werksgruppen. Alarme, Berichterstellung und Geräteabschaltung können für die speziellen Anforderungen von Benutzergruppen und Ausrüstungsteilen konfiguriert werden. INFICON nutzte seine Erfahrungen mit Fertigungsanlagen auf der ganzen Welt, um Systemvorlagen zu erstellen, die einfach bereitgestellt werden können und sich bereits nach kurzer Zeit amortisieren.
Die einzigartige Kombination von statistischer Prozesssteuerung in Echtzeit und professionellen Systemfunktionen machen FabGuard FDC zum leistungsstärksten Problemerkennungssystem, um Waferverluste sowie ungeplante Ausfallzeiten zu reduzieren.
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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