Überwachung von PVD-Prozessen ohne komplexe Druckwandlung
Durch die Prozessüberwachung mit dem Transpector XPR3 RGA erhalten Sie Daten zu Kontaminationsgraden, Ausgasungsgraden, Gasreinheit und Gerätebetrieb in Echtzeit. Anhand dieser Informationen können Durchsatz und Ertrag maximiert und Abfallprodukte durch Erkennen und Diagnostizieren von Problemen reduziert werden. Präventive Wartungsprogramme können effizienter gestaltet werden, um die Gerätebetriebszeit zu verlängern.
Der Transpector XPR3 gehört zur nächsten Gerätegeneration für die Quadrupol-basierte Prozessgasanalyse unter Hochdruck. Er baut auf dem Erfolg vorheriger INFICON-Systeme auf und ermöglicht die Überwachung von Prozessen mit physikalischer Dampfabscheidung (PVD) mit einer beispiellosen Empfindlichkeit, Präzision und Flexibilität. Durch eine Reihe von technologischen Durchbrüchen kann der kompakte Transpector XPR3 von 20 mTorr bis Ultrahochvakuum ohne umfangreiche, komplexe Druckwandlungsausrüstung betrieben werden.
Features auf einen Blick:
- Die neu entworfene Ionenquelle verhindert Verunreinigungen, um die Lebensdauer zu verlängern, und liefert störungsfreiere Signale.
- Neuer EM arbeitet bei PVD-Prozessdrücken, bietet eine schnellere, übersichtlichere Datenerfassung und eliminiert FC-zu-EM-Übergänge, sodass Daten leichter interpretiert werden können
- Neuer längerer Quadrupol ermöglicht eine verbesserte Filterung im unteren Massenbereich und eine höhere Mengenempfindlichkeit, sodass Wasserstoff genauer nachgewiesen werden kann
Anwendungen des Transpector XPR3:
- PVD-Prozessmodule
- Vorreinigungsmodule
- Nicht-Clustergeräte zur physikalischen Dampfabscheidung
- Eingespannte Entgasungsmodule
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Transpector XPR3 Gas Analysis System
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Technical Information:
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Heating Jackets Can Improve RGA Performance
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Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
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Technical Note - he Optimization of Electron Energy for RGAs
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Transpector XPR3 Gas Analysis System - Best Known Methods
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