SCHNELLE UND LEISTUNGSSTARKE ANALYSE VON MIKROLICHTBÖGEN
Abfallprodukte reduzieren, Gewinne steigern und Durchsatz erhöhen
Der INFICON Sion™ RF Detector ermöglicht leistungsstarke Echtzeit-Analysen der Plasma-Mikroelektrolyse, die Schäden am Zielobjekt, an der abgeschiedenen Schicht und bei der c-Si-Kantenätzverarbeitung sogar an der Moduloberfläche hervorrufen kann. Der Sion ist kompakter als vergleichbare Geräte auf dem Markt und verwendet das FabGuard® Integration and Analysis System von INFICON zur Erkennung von zuvor nicht feststellbaren Lichtbögen. Dadurch können Verluste verringert und Gewinne, Durchsatz und Rentabilität erhöht werden.
Features auf einen Blick
· Unauffälliges, ultrakleines Detektordesign
· Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung (20 KHz)
· Integrierte Datenverwaltung mit FabGuard
Kleiner, einfach anzubringender Sensor großer Nutzen
Die Leistung des Sion wird nicht wie bei verkabelten Inline-Sensoren beeinträchtigt, und die RF-Bezugssystemeigenschaften des Geräts werden nicht geändert. Der extrem kompakte, unauffällige Detektor mit dem innovativen Klemmentwurf wird direkt an das leistungsstarke RF-Bezugssystem der Prozesskammer angeschlossen, um Spannungs- und Stromstärkeninformationen bei Geschwindigkeiten bis zu 20 KHz zu erfassen. Er enthält einen Hochgeschwindigkeitssignalwandler, der direkt mit dem FabGuard-Datenerfassungs- und Analysesystem verbunden ist.
Die Leistung des Sion RF Detector ist einmalig, da große RF-Detektoren an Orten angebracht werden müssen, die möglicherweise nur unzureichende Lichtbogenerkennung ermöglichen.
Anwendungen
Lichtbogenerkennung für c-Si-Kantenätzandwendungen
Lichtbogenerkennung für a-Si /μc-Si PECVD-Anwendungen
Lichtbogenerkennung für SiN PECVD-Anwendungen
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Sion Plasma Arc Detector
English
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