Äußerst präzise, wiederholbare Kammerreinigungs-Endpunktsteuerung zur Kosteneinsparung
Der Sion RF Detector bietet bessere Steuerungsmöglichkeiten und eine höhere Ausbeute bei CVD- und Ätzprozessen, indem der Kammerreinigungs-Endpunkt zuverlässig und genau bestimmt wird. Eine präzisere Endpunktbestimmung bedeutet niedrigere Mengen von Partikeln auf den Wafern und mehr Zeit zwischen präventiven Wartungszyklen.
Das FabGuard Integration and Analysis System bietet im Vergleich zu auf optischen Emissionsspektrometern basierenden Controllern eine Reihe von Vorteilen und wird deshalb von Sion verwendet, um den Zeit- und Materialaufwand zu reduzieren, der durch das Unter- oder Überätzen bei der Kammerreinigung entsteht.
Features auf einen Blick
- Leichter, direkter Austausch bei OES-basierten Instrumenten für eine präzisere Endpunktkontrolle
- Eliminiert Unter- oder Überätzung bei der Kammerreinigung und reduziert dadurch Zeit- und Materialkosten.
- Kosteneinsparung, da weniger Reinigungsgasdurchfluss erforderlich ist
- Erhöht die Gerätelaufzeit, da Wartung und Austausch von Kammerfenstern überflüssig werden
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Sion RF Detector for Endpoint Control
English
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