Automatischer Kristallwechsel maximiert die Produktionszeit
In Kombination mit dem INFICON Cygnus® Thin Film Deposition Controller wechselt der INFICON Crystal 12 Sensor seine Kristalle automatisch ohne Unterbrechung des Prozesses aus. Sobald ein Kristall unstabil wird oder ausfällt, gibt der Cygnus dem Crystal 12-Sensorkarussell die Anweisung, einen neuen Kristall in Position zu drehen, um die Abscheidungsratenüberwachung aufrechtzuerhalten. Zur zusätzlichen Reduzierung der Ausfallzeit können Kristalle in ein zweites optionales Karussell vorgeladen werden, das anschließend schnell und einfach mit dem Karussell mit den verbrauchten Kristallen ausgetauscht werden kann, sodass die Zeitspanne verkürzt wird, in der das System geöffnet ist.
Features auf einen Blick
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell für den schnellen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund pneumatisch betätigter Kristallschaltung (Einheiten anderer Hersteller verwenden Wärme erzeugende Motoren)
- Leicht herausnehmbarer Abscheidungsfrontschutz schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, aus Wartungsgründen den gesamten Sensor herauszunehmen
- Optionaler Montagekit kann auf Kundenwunsch so angepasst werden, dass metrische Hardware angebracht werden kann
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Crystal 12 Sensor
English
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Datasheet - Crystal 12 Sensor
English
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