Speziell entworfen für Halbleiterprozesse
Beheizte Abgasleitungen von INFICON werden empfohlen für chemische Dampfabscheidung, Ätzen und andere Prozesse, bei denen eine Verunreinigung der Abgasleitung auftritt.
Kondensierte Prozessnebenprodukte an den Wänden der Abgasleitung reduzieren die Leitfähigkeit und erhöhen das Risiko für Partikelverunreinigungen.
Das Beheizen der Abgasleitungen auf die Prozesstemperatur verhindert Kondensation und verbessert die Wiederholbarkeit wichtiger Prozesssteuerungsparameter zwischen den Abläufen. Weitere Vorteile sind eine geringere Belastung durch gefährliche Chemikalien und längere Zeiträume zwischen präventiven Wartungen.
Features auf einen Blick
- Modularer Bausatz
- Benutzerdefinierte Konfigurationen
- Exzellente Wärmeleistung
- Thermostatisch kontrollierte Wandtemperatur
- Integraler Wärmeschutz
- LTA-Kontrollschaltkreis überwacht die individuelle Heizungsleistung
- Kühle Außenoberfläche
- Ein einzigartiger Verbindungsprozess eliminiert kalte Stellen und verbessert den Wärmetransfer für eine schnelle Aufheizung und eine lange Heizungslebensdauer
- Niedrigerer Energieverbrauch
- Mit UL, SEMI S2 und CE gekennzeichnet
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - Exhaust Line (siba10e1.pdf)
English
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