Die Hochtemperatur-Druckmesser SKY CDG160D und CDG200D von INFICON sind die beste Wahl für genaue Gesamtdruckmessung und -steuerung. CDG160D- und CDG200D-Messgeräte sind temperaturgesteuert auf 160 bzw. 200 ^o^C für bessere Leistung bei anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen. Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und stellen ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V bereit. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.
Vorteile
- Niedrigere Betriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
- Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
- Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit Hochtemperatur-Heizkonzept und Messgerätschutz
- Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
- Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Anwendungen
- Ätzung, CVD, PVD, LPCVD sowie andere Verfahren in der Halbleiterproduktion
- Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
- Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Datasheet - CDG160D, CDG200D
English
|
Operations and Maintenance Manuals:
|
|
Communication Protocol - Profibus, CDG160D/CDG200D
English
|
 |
Software - GSD for CDG160D, CDG200D
English
|
Technical Information:
|
|
On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
| Chinese
|
|
|
