INFICON SKY CDG100D-Manometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. CDG100D-Messgeräte sind temperaturgesteuert auf 100 ^o^C für bessere Leistung bei anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen. Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und stellen ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V bereit. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.
Vorteile
- Niedrigere Betriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
- Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
- Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
- Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
- Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Anwendungen
- Ätzen, PVD, CVD und andere Verfahren in der Halbleiterfertigung
- Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
- Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Operations and Maintenance Manuals:
 |
Communication Protocol - Profibus - CDG100D
English
|
|
|
Operating Manual - CDG100, CDG100-H, CDG160
German
|
|
|
Operating Manual - CDG100, CDG100-H, CDG160
English
|
Technical Information:
|
|
On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
| Chinese
|
|
|
