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Dünnschichtabscheidungs-Controller/-Monitore |
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Electron Beam Gun Crucible Indexer |
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FabGuard Software-Suite |
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Guardian Co-Deposition Controller |
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Leckdetektoren |
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Quarzkristallsensoren |
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Quarzmonitorkristalle |
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RF Sensing Technology |
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Restgasanalysatoren |
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Vakuumkomponenten |
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Vakuummeter |
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Vakuumventile und Gasdosierungssysteme |
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Angle and Inline Valves, DN 16 - 250 |
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Angle and Inline Valves, DN 5 |
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Ball Valves, DN 10-40 |
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Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO |
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Diaphragm Valves, Manually Actuated |
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Gas Dosing Systems |
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Gas Dosing Valves |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), manual |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), pneumatic and electropneumatic |
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Safety Valves |
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Venting Valves |
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Vakuumventile und Gasdosierungssysteme
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INFICON bietet ein vollständiges Sortiment an Vakuumventilen, -anschlussstücken und -durchführungen für alle Vakuumanwendungen. Unsere anpassbaren beheizten Ventile und Anschlussstücke wurden speziell für Abgasleitungen von Ätzprozessen in der Halbleiterherstellung entwickelt. INFICON Gasdosierungscontroller steuern den Druck, indem sie mit den Vakuummetern von INFICON kommunizieren.
Komponenten von INFICON sind zu 100% bis in einen Bereich von weniger als 1 x 10^-9 mbar -l -s auf Lecks getestet. Oberflächenvergütungen, Schweißnähte und Materialeigenschaften entsprechen den Anforderungen im Hochvakuumbereich oder übertreffen diese sogar. Ventile, Anschlussstücke und Durchführungen von INFICON sind in Edelstahl und Aluminium erhältlich. Die Bauweise der Flansche entspricht den internationalen Standards ISO 2861, ISO 1609, und ISO 3669.
ISO-KF-Ventile (DN 16, 25, 40), pneumatisch und elektropneumatisch
ISO-KF-Ventile (DN 16, 25, 40), manuell
Winkel- und Inlineventile, DN 16 - 250
Eck- und Inlineventile, DN 5
Membranventile, manuell betätigt
Kugelventile, DN10-40
Absperrklappen, DN 63 bis 250 ISO
Gasdosierungsventile
Gasdosierungssysteme
Sicherheitsventile
Lüftungsventile
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Informieren Sie sich über unser vollständiges Sortiment
Vakuum-Ventile und Gasdosierungs-Systeme
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