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Analizadores de gas residual |
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Componentes de vacío |
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Control de pistola de haz de electrones Crucible IndexerCrucible |
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Controlador de co-deposición Guardian |
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Detectores de fugas |
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Manómetros de vacío |
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Paquete de software FabGuard |
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Sensores de cristal de cuarzo |
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Supervisor de cristal de cuarzo |
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Supervisores/Controladores de deposición de película delgada |
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Tecnología de detección por RF |
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Válvulas de vacío y sistemas de dosificación de gas |
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Angle and Inline Valves, DN 16 - 250 |
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Angle and Inline Valves, DN 5 |
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Ball Valves, DN 10-40 |
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Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO |
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Diaphragm Valves, Manually Actuated |
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Gas Dosing Systems |
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Gas Dosing Valves |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), manual |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), pneumatic and electropneumatic |
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Safety Valves |
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Venting Valves |
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Válvulas de vacío y sistemas de dosificación de gases
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INFICON ofrece una línea completa de válvulas, conectores y pasos de vacío compatibles con todas las aplicaciones de vacío. Nuestros conectores y válvulas térmicos personalizados se han diseñado específicamente para las líneas de escape de decapado de la fabricación de semiconductores. El controlador de dosificación de gases de INFICON controla la presión mediante los indicadores de vacío de INFICON.
Los componentes INFICON están totalmente sellados contra fugas de menos de 1 x 10-9 mbar l/s. El acabado de la superficie, las soldaduras y las especificaciones del material cumplen (o superan) los exigentes requisitos de vacío. Las válvulas, conectores y pasos INFICON están disponibles en aluminio y acero inoxidable; y el diseño de las bridas cumple las normas internacionales ISO 2861, ISO 1609 e ISO 3669.
Válvulas ISO-KF (DN 16, 25, 40), neumáticas y electroneumáticas
Válvulas ISO-KF (DN 16, 25, 40), manuales
Válvulas de alineación y de ángulo, DN 16 - 250
Válvulas de alineación y de ángulo, DN 5
Válvulas de diafragma, accionadas manualmente
Válvulas de bola, DN10-40
Válvulas de mariposa, DN 63 - 250 ISO
Válvulas de dosificación de gases
Sistemas de dosificación de gases
Válvulas de seguridad
Válvulas de ventilación
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Consulte nuestra línea completa
de válvulas de vacío y sistemas de dosificación de gases.
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