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製造全体のプロセス仕様
FabGuardFDCはオンラインの障害検出と分類（FDC)機能を融合し、製造エンジニアがバーチャルにプロセスの状況や装置の調子を首尾よく分析するためのパワフルな装置となります。ウェハ損失予防や予定外の装置ダウンタイム縮小、歩留まり問題の改善には、これ以上に優れた機能を備えた装置はありません。
ウェハのサイズや製品の寸法に関わらず、生産力と競争力にとって重要なのはタイムリーな情報です。製造工場の生産力を最大化するには、破損ウェハの数を減らし、装置を最大活用することによってコスト削減へのプレッシャーを増加させることが大きな鍵を握っています。今日の半導体製造の課題は、統計家の経験収集とエンジニアの最新工場生産維持を支えるFabGuardシステムが解決します。FabGuardFDCは、スムーズな製造オペレーションにとってプロセスと装置の知識が何より重要だという原則に基づいて作られています。
FDCを再定義する - FabGuard検出と分類
FabGuard FDCは、作動中のチャンバーごとの細かい専門知識から製造全体の統計的なプロセスコントロールまで、すべてのレベルにおいてのFDCエンジニアリングを可能にします。
FabGuard FDCは、製造全体にわたるFDCシステムの包括的な機能と、プロセスエンジニアリングと装置のトラブルシューティングを詳細なデータで分析できる装置を融合した唯一のシステムです。確立された工場統計プロセスコントロール（SPC）手法を、リアルタイムの装置停止の利点を追加して、簡単にFabGuardにプログラムすることが可能です。不具合が検出されるとすぐに装置停止が働くため、ウェハ破損を格段に減らすことができます。FabGuard FDCはコントロール不能な事態が検出されると問題装置を停止させるように即座に反応します。
FabGuard FDC Expert System はプロセスを覚え問題を再認識します。
生産損失を防止するため第一ラインを守るようSPCのルールが頻繁に採用されます。FabGuard FDCはさらに追加レベルで保護を行います。それが学習可能なExpert System FDC builderです。製造エンジニアはFabGuard FDCに新たな問題を認識させ、次に同じ問題が起こったときに自動的に検出するように覚えさせることができます。製造エンジニアの問題解決のコツは、あらゆる装置を使ったあらゆるチャンバーでのどんなプロセスをもモニターするFabGuard FDCの処方に簡単に変換することができます。SPCをベースにした装置停止機能と並行して走らせることで、FabGuard FDC Expert Systemの機能は、プロセスと装置エンジニアがSPCメソッドでも検出できない問題を認識するようにFabGuardを学ばせることができます。製造エンジニアは、習得させた専門知識で装置の動作とウェハのプロセスを追っていくことができます。FabGuard FDC Expert Systemsはさらなるウェハ保護と不具合検出のためにエンジニアリングのノウハウをFabGuard FDCにプログラムさせます。
製造全体にFabGuard FDC
FabGuard FDC systemは工場レベルで配置し持続することで、すべてのウェハプロセス装置におけるリアルタイムの統計プロセスコントロール（SPC）が可能です。単独のユーザインターフェースによってエンジニアは非常に柔軟で簡単に、装置とプロセスデータを分類、表示、分析することができるようになります。
- 製造エンジニアはパワフルな装置をベースにしたデータを視覚化でき、装置とプロセス状況を全視点から分析できるようになります。
- プロセスエンジニアリングで、装置の状態とウェハ出力の関係を首尾よく決定することができます。
- 装置エンジニアリングで、予定外のダウンタイムを減らすために装置の問題をすばやく診断することができます。プロセス中のチャンバーを比較してマッチすることができます。
スケーラビリティとサステナビリティ
データはアーカイブとして保存され、分析結果はMicrosoft ® SQL またはOracle ® データベースに保存されます。工場全体にわたってひとつの装置から数百の装置へと拡張できる装置ベースのシステムを通して、ハードウェアの余分を取り除くことができます。FDCエンジニアは単独の使いやすいインターフェースを通してすべての情報をソートして閲覧することができます。適応様式によって習得カーブを改善させ、異なる製造グループ間での情報共有を容易にします。ユーザグループと装置環境の特定のニーズに合わせて、アラーム、レポート、装置停止の機能をを組み込むことができます。INFICONは世界中で製造をリードしてきた経験を生かし、配置するやすぐに元がとれるようなシステムテンプレートを作り出しています。
リアルタイムのSPCと専門システム機能を独自に組み合わせることによって、FabGuard FDCという、ウェハ損失と予定外装置ダウンタイムを縮小するための最もパワフルなシステムを作り出しました。
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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