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電子衝突放出スペクトロスコピー(EIES)
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Guardian同時蒸着コントロールシステムは、電子衝突放出スペクトロスコピー(EIES)によって動かされ、光電池、MBE、OLED、および超電導薄膜などの作業における、複数の材料の同時蒸着をコントロールするのに理想的です。
蒸着されている材料は熱電子放出によって励起される結果として、光子が生成されます。発生した光は光学フィルターから、通過する波長の発光強度を測る光電子倍増管（PMT）に通されます。次にINFICON Guardianコントローラは材料のソースをコントロールするための信号を発生させます。追加のディテクタは、適切な光学フィルターとともに、複数の材料に使われます。
完全なGuardianシステムは最低センサ1つ、ディテクタ1機、光学フィルター、コントローラ/インターフェースユニット、Guardianソフトウェア入りのPC対応のコンピュータ（ユーザー提供）で構成されます。EIESは全般的に複数の材料の蒸着をコントロールするのに使われるので、ほとんどのEIESシステムは追加のセンサ、ディテクタ、ビームスプリッターなどの光学部品、および校正またはいくつかの材料の蒸着率をコントロールするためのQCMを含みます。ブロック図（右）に典型的なGuardianシステムの機器構成が示されています。このシステムでは、Guardianは材料4種類の蒸着率を、材料3種類はEIESを使用することで、4種類目はQCM（水晶振動子マクロバランス）で、コントロールします。（光電池作業におけるCIGS材料の蒸着では一般的な機器構成です。）
Guardian同時蒸着システムを設定するには次の点について考慮してください
蒸着材の第一、第二の放出波長は？
異なる材料が互いに近すぎるピークを持つ場合、より低い信号強度を持つ第二波長を監視する必要があります。
蒸着プロセスにおいて、真空チャンバーのどの背景にガスが存在していますか？またそれらのガスの放出波長はどうですか？
背景ガスからの放出が蒸着材料を干渉する場合、ガスコントロールセンターの使用をお勧めします。
EIESがユニークに定義された原子種のスペクトルに対して最も効果的です。不安定または広帯域の発光スペクトルを発生する分子種は正確に測れません。EIESは有機材料には不適切です。これらと他の要素は、各特定作業につき最善のEIESシステム構成を確定します。
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Technical Information:
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Learn how EIES can improve the fabrication of CIGS films.(pdf)
English
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