INFICON残留ガス分析器

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リーク感知機

残留ガス分析器

•	Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector CPM Gas Analysis System
•	Transpector HPR Gas Analysis System
•	Transpector Software
•	Transpector XPR3 Gas Analysis System
•	Transpector XPR3L Gas Analysis System

水晶モニター振動子

水晶振動センサ

真空バルブとガス注入システム

真空計

真空部品

薄膜析出コントローラ/モニター

電子ビーム銃クルーシブルインデクサー

FabGuaradソフトウェア適応

Guardian 同時蒸着コントローラー

RFセンシングテクノロジー

Transpector残留ガス分析器(RGAs)

INFICONの残留ガス分析器（RGAｓ）は、汚染ガスの存在をつきとめ、希望のプロセスガスの存在を照合しながら製造プロセスを継続的に監視する、プロセスエンジニアのための支援診断ツールとして使用されます。

Transpector® ガス分析システム装置系
Transpectorガス分析器は、真空プロセスの監視、プロセス、診断、リーク検出において、正確で信頼できるデータを提供します。

Transpector 2 ガス分析システム
優れた感度で汚染をコントロール。このRGAは半導体製造において真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出の正確かつ信頼性の高いデータを提供します。

Transpector XPR3L ガス分析システム
手頃で効果的なプロセスガスとベース真空監視でリアルタイムのPVDプロセス

Transpector XPR3 ガス分析システム
複雑な圧力変換なしにPVDプロセス監視-このRGAは、前例のない感度と精度、および柔軟性で物理気相成長（PVD）プロセスを監視することができます。

Transpector CPM コンパクトプロセスモニター
総合的なガス分析がお手頃に-フル機能を備えた、コンパクトで経済的なガス分析器で、複雑なプロセスにおけるin situ監視に理想的です。

Transpector ソフトウェア
Transpectorガス分析システムのプロセス特性評価ソフトウェア

Transpector CPMコンパクトプロセスモニターの可動型カート
モバイルトラブルシューティングのための内蔵型カート