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Transpector 2ガス分析システム
優れた感度で汚染コントロール

Transpector® ガス分析システムは、半導体や太陽/光起電力関連の製造における真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出において正確かつ信頼性の高いデータを提供する残留ガス分析計(RGA)です。Transpector 2ではより向上した水素感度がサブppmレベルでの汚染を把握し、低レベル信号で広範囲のダイナミックレンジを4倍の速さでスキャンできるため、低い検出分圧によって正確なデータを提供します。

特長一覧
  • ファラデーカップまたはファラデーカップ/ 電子増倍菅の組み合わせによる100-、200-、 300-amu のシステム
  • 向上した水素感知
  • 優れた ピーク振幅とポジションの安定性
  • オリジナルのTranspectorと比べるとSN比が10倍改善
  • 低レベル信号でより速いスキャン
  • 9 decadeの電気ダイナミックレンジ
  • シングルとマルチチャンバーシステムのソフトウェアオプション
  • 1 X 10 -4^Torrから 5 X 10 ^-15 Torrまで分圧計測

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Brochure - Transpector 2
English

Technical Information:

   Benefits of RGA Degassing
English

   Calculating Partial Pressures
English

   Calculating Sensitivity for RGA Partial Pressures
English

   Choosing the Appropriate RGA
English

   General RGA Spectrum Interpretation Guide
English

   Heating Jackets Can Improve RGA Performance
English

   New Digital Input/Output Board for Transpector Gas Analysis System Using TWare 32
English

   Partial Pressure vs. Total Pressure for an Open Ion Source RGA
English

   Residual Gas Analyzers for Contamination Checking
English

   Residual Gas Analyzers for Leak Detection
English

   The Advantages of an RGA with Analog Outputs
English

   The Practical Use of Residual Gas Analysis in a Semiconductor Thermal Processing Module
English

   Transpector 2 Improvements Lead to Better Process Monitoring
English

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