複雑な圧力変換なしにPVD プロセス監視
Transpector XPR3 RGAと共にプロセス監視を行うことで、汚染レベル、アウトガスレベル、ガス純度と装置操作におけるデータをリアルタイムで入手することができます。この情報によって処理能力と歩留まりの最大化、無駄や蒸着でのトラブル削減が実現し、予防のメンテナンスプログラムをより効果的に効率化することで稼働時間を増加させることができます。
Transpector XPR3は、四重極をベースとした次世代の高圧プロセスモニタです。XPR3は、過去の弊社システムの経験を基に設計されており、前例のない感度と精度、および柔軟性で、PVDプロセスを監視することができます。Transpector XPR3は、一連の技術革新により、そのコンパクトな外見にもかかわらず20mTorrから高真空までの範囲で使用することができ、大型で複雑な差動排気装置は必要ありません。
特長一覧:
- イオンソースの再設計により汚染物質の影響を抑え、寿命の延長とクリアーな信号の提供を実現
- PVDプロセス圧で動作する新しいEM（2次電子増倍管）により、迅速でクリーンなデータ収集が可能になり、FCからEMへの変更が不要になったためデータ変換も容易
- 新たに延長された新四重極により低質量範囲でのフィルタ性能とアバンダンス感度が改善され、水素検出感度も向上
Transpector XPR3 の用途
- PVDプロセスモジュール
- プレクリーンモジュール
- クラスター無のPVD装置
- クランプしたデガスモジュール
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Transpector XPR3 Gas Analysis System
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Technical Information:
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Heating Jackets Can Improve RGA Performance
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Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
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Technical Note - he Optimization of Electron Energy for RGAs
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Transpector XPR3 Gas Analysis System - Best Known Methods
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