SQM160は実績あるINFICON水晶振動のセンサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。標準構成で2つのセンサを入力でき、オプションで4センサを追加できます。標準の 2つのレコーダー出力から、速度と膜厚のアナログ信号を出力します。
センサ入力はそれぞれの材料に対して割り当てられ、大きなシステムでは蒸着を正確にコントロールするため平均化され、またデュアルセンサを割り当てらることもできます。速度サンプリングモードによって、シャッター済みセンサが高速度プロセスでセンサの寿命を延ばします。速度表示は 0.1/sまたは 0.01/sを選択できます。さらに、周波数や質量表示も選択することができます。4つのリレー出力によって、SQM160がソースまたはセンサシャッター、信号時間、膜厚のセットポイント、そして振動子の故障を示すコントロールを可能にします。デジタル入力は、スタート /ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号のコントロールを可能にします。
特長一覧
- 標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可
- 速度/膜厚のアナログ信号出力
- オプションで0.03Hz @ 10 readings/secの高い精度
- RS-232 標準、USB または イーサーネット オプション
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - SQM160 Multi-Film Rate/Thickness Monitor
English
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Operations and Maintenance Manuals:
Software:
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Software - SQM-160_COMM_V1.14
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