振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化
INFICON Crystal 12 センサをINFICON Cygnus®薄膜蒸着コントローラーと組み合わせて使用すれば、プロセスを中断することなく自動的に振動子を交換することができます。振動子が不安定になったり故障したりすると、Cygnus が Crystal 12 センサのカローセルに信号を送り、直ちに新しい振動子を所定の位置に回転移動させて蒸着速度の監視を続けます。ダウンタイムを更に短縮したい場合には振動子を予め第 2 のカローセル（オプション）の装着を用意しておくのが良い方法です。消耗した振動子を装着したカローセルと新しいカローセルは簡単かつ迅速に交換が可能なため、システムが開放状態になる時間を最短に抑えることができます。
特長一覧
- 12の振動子を装着し、安定した自動切り替えを行うことでプロセス可動時間を最大化
- 取り外しが簡単なカローセルで12の振動子を素早く切り替え
- 振動子の交換が空気式で操作されるため、振動子の温度が安定（他社では発熱モーターを使用）
- 取り外し簡単なフロント蒸着シールドが振動子とカローセルを蓄積物質から保護し、メンテナンスでセンサ全体を取り外す必要性を最小限に
- オプショナルで、マウントポスト式キットをユーザー仕様に調整し、軽量ハードウェアを取り付け
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Crystal 12 Sensor
English
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Datasheet - Crystal 12 Sensor
English
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