OLEDの作業で最高の計測精度
Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、OLEDプロセスから最大の収穫を得るためにあなたのためにすべてデザインされた、INFICONの薄膜コントローラーの実証済み機能とユニークな機能を組み合わせることで、類のない価値を提供します。Cygnus 2は、市場をリードする毎1/10秒に.00433A/sという解像度の、安定した高解像の速度と膜厚計測を提供するModeLock周波数計測システムを使っています。他のどの水晶振動子コントローラーCygnus 2ほどに優れた再現性をもたらす性能、品質、特長を持っていません。
特長一覧
- INFICONのModeLock技術は、最も安定性があり、可能なかぎり最高の解像度と膜厚の計測を非常に低価格でお約束します。
- 自動Zが調整によって、材料が蒸着するとZ比率が自動的に決定し、膜厚の精度を向上
- 6つのソースまで同時にコントロールでき、単独で、または一台のCygnus 2と組み合わせながら、2つまたは3つのコントローラーのニーズに対応
- カラーTFT LCDディスプレーがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
- 10Hz計測
- 100msサンプル以上で+/-0.0035 Hz
- スクリーンショット用USBデータ保存、処方保存、データログ
- 複数ソースの膜厚を合計
- 低濃度の平均率、非常に低い率（非常に低い率のOLEDドーパント材料蒸着において安定したソースで30秒までの使用）の材料を計測
- 0.001Å/秒までの速度解像を表示
- 4メートルのXIUのオプションが、大型システム用に長い真空内のセンサケーブルを使用できる機能を提供
- 非蒸着コントロールによって、基板が蒸着チャンバーを通してサイクルされる際に継続的なソースコントロールが可能
- 6D-A変換器出力標準、ソースコントロールや速度/膜厚監視のための6つの追加オプション、
- オプションでイーサーネットコミュニケーション
- RoHS対応
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
English
| Japanese
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|  | | Crystal 12 - Replaces crystals automatically without interrupting your process. |
|  | | Table of Density and Z-Ratio Values |
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