優秀さを再現可能に
機能豊かなIC6があり得る限り最高の計測精度を提供
IC6薄膜蒸着コントローラーは、機能ポジションプロセスから最大の収穫を得るためにあなたのためにすべてデザインされた、INFICONの薄膜コントローラーの実証済み機能とユニークな機能を組み合わせることで、類のない価値を提供します。IC6は、市場をリードする毎1/10秒に.00433A/sという解像度の、安定した高解像の速度と膜厚計測を提供するModeLock周波数計測システムを使っています。他のどの水晶振動子コントローラーもIC6ほどに優れた再現性をもたらす性能、品質、特長を持っていません。
特長一覧
- INFICONのModeLock技術は非常に低いレートでも、最も安定性があり、可能なかぎり最高の解像度と膜厚の計測をお約束します。
- 自動Zが調整によって、材料が蒸着するとZ比率が自動的に決定し、膜厚の精度を向上
- 6つのソースまで同時にコントロールでき、単独で、または一台のIC6と組み合わせながら、2つまたは3つのコントローラーのニーズに対応
- カラーTFT LCDディスプレーがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
- 10Hz計測
- 100msサンプル以上で+/-0.0035 Hz
- スクリーンショット、処方保存、データログ用のUSBデータ記憶
- 複数ソースの膜厚を合計
- 低濃度で非常に低い率の材料の計測レート平均化（非常に低い率のOLEDドーパント材料蒸着において安定したソースで30秒までの使用）
- 0.001/秒までの速度解像を表示
- 4メートルのXIUのオプションが、大型システム用に長い真空内のセンサケーブルを使用できる機能を提供
- 非蒸着コントロールによって、基板が蒸着チャンバーを通してサイクルされる際に継続的なソースコントロールが可能
- 6D-A変換器はソースコントロール、速度、または膜厚監視のための、標準および6つの追加オプションを出力
- オプションでイーサーネットコミュニケーション
- RoHS対応
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Application Note - Auto-Z: A Path to Precise Control of Layer Thickness
English
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Brochure - Crystal 12 Sensor for Quartz Crystal Deposition Controllers
English
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Brochure - IC6 Thin Film Deposition Controller for Optical Applications
English
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Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators
English
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Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring
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Technical Note - The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes
English
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Catalogs:
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Catalog - Thin Film Deposition Controllers, Monitors and Accessories
English
| Chinese
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Operations and Maintenance Manuals:
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