SKYAllceramic CDGのすべての真空表面は長高純度酸化アルミセラミックでできており、従来のCDGのステンレススチールチューブの代わりとなるものです。この製品は金属汚染を避けるべき作業に適しています。
利点
- 金属汚染なし
- 限りなく近いゼロドリフト
- 事実上腐食が不可能。センサの寿命が長いことよりダウンタイムが減少して、所有者コストの減少につながる
- 長期にわたって優れた精度と再現性
- より良い長期および温度の安定性
- （操作モードによっては）遮断バルブを除外
- 粒子とプロセスの副産物からの影響が保護用のチャンバーによって少なくなる
- 最速のウォームアップ時間
- 低価の投資費用
- インターフェースの互換性により、既存のCDGをすぐに取り替えられる。
用途
- エッチング、CVDとPVDプロセス
- 注入まはた拡散プロセスを使用してシリコンをドープ処理
- 酸化
- 100の範囲でゲート酸化膜を形成
- バリアー膜（シリコンとアルミまたは銅の間に保護膜としてチタン、タンタル）の形成
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Datasheet - CDG025 All Ceramic Capacitance Diaphragm Gauge
English
|
Operations and Maintenance Manuals:
|
|
Operating Manual - CDG025-C (tinz11e1.pdf)
English
|
Technical Information:
|
|
On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
| Chinese
|
|
|
