SKYキャパシタンスダイアフラムゲージAllCeramicCDG160A-C / CDG160A-CS

Solar

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Products:

リーク感知機

残留ガス分析器

水晶モニター振動子

水晶振動センサ

真空バルブとガス注入システム

真空計

•	BCG450 TripleGauge Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
•	BPG400 Bayard-Alpert Pirani Gauge
•	BPG402 Bayard-Alpert Pirani Gauge
•	CDG025 AllCeramic Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG025D Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG045D Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG100D Capacitance Diaphragm Gauge
•	CDG160D/200D Capacitance Diaphragm Gauge
•	HPG400 High Pressure Ionization Pirani Gauge
•	MPG400 / MPG401 Inverted Magnetron Pirani Gauge
•	PCG550 Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
•	PEG050 Penning Gauge
•	PEG100 Penning Gauge
•	PGD400 Pirani Gauge Display
•	PSG050 / PSG051 Pirani Standard Gauge
•	PSG100 / PSG101 Pirani Standard Gauge
•	PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S Pirani Standard Gauge
•	PSG55X Pirani Standard Gauge
•	VGC401 / VGC402 / VGC403 Vacuum Gauge Controller
•	VSA100 Vacuum Switch
•	VSA200 Vacuum Switch
•	VSC150 Vacuum Switch

真空部品

薄膜析出コントローラ/モニター

電子ビーム銃クルーシブルインデクサー

FabGuaradソフトウェア適応

Guardian 同時蒸着コントローラー

RFセンシングテクノロジー

SKYキャパシタンスダイアフラムゲージAllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS

INFICONのSKY AllCeramic CDG160A-Cは摂氏160度の温度で制御可能な唯一の金属フリーのダイアフラムゲージで、酸化、拡散、LPCVDといった困難な作業のためにデザインされています。ゲージからの金属汚染の可能性を取り除くため、チュービング、プラズマシールド、汚染保護シールドといった真空部分に触れるすべての表面は耐腐食性高純度酸化アルミニウムセラミックで作られています。

INFICON SKYAllCeramic CDG160A-C は、INFICONのゲージCDG160Aシリーズの実績あるセンサ技術を統合し、LPCVDやその他の過酷な半導体製造作業において、信頼性と再現性の高い性能を発揮します。

利点

金属フリーの高純度セラミックデザインで金属汚染を予防
摂氏 160度までの温度制御でプロセス生産物や副生物の凝縮を防止
コンパクトなデザインで貴重なスペースを節約し、装置統合をシンプル化
周囲温度との高い互換性
追加保護シールド（スーパーシールド）で粒子保護チャンバーを強化し、ゲージ汚染の可能性を軽減
ユニークなセラミックセンサのデザインが再現性と正確な計測と優れた長期安定性を実現
オプションのセットポイントとステータス表示機能がさらなる追加コントロールと安心を提供

用途

酸化、拡散、LPCVDプロセス
その他、金属フリー真空計測の必要条件

関連技術情報
リクエストに応じて可