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真空計
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INFICONの真空計は優れた精度と信頼をコンパクトなデザインでお届けします。複数の技術をひととうのコントローラーにまとめ、トータルな圧力計測と真空プロセスコントロールを行います。
- INFICONのセラミック製ダイアフラムゲージ（CDG）は、温度、機械的な安定性、ゼロ点移動、再現性、耐腐食性においてすべての金属ダイアフラムCDGをしのぐ性能を持っています。一般的な技術を越えた革新によって、INFICONのセラミック製キャパシタンスダイアフラムゲージは超高純度酸化セラミック製ダイアフラムを使い、従来の金属ダイアフラムにとってかわり、優れた精度と再現性で真空計測を行います。
- INFICONのガス種に依存しないピラニキャパシタンスダイアフラムは特許取得のデュアルピラニセンサとガス種に依存しないセラミック製キャパシタンスダイアフラム技術を一台のゲージにまとめ、費用とスペースを節約します。
- INFICONのベイヤードアルパートキャパシタンスダイアフラムゲージは、一台のコンパクトなゲージ、一箇所の接続、一本のセンサケーブルと一台のA/Dコンバータだけを使って13decadesを計測し、複雑さとコストを劇的に減らします。
SKYキャパシタンスダイアフラムゲージ
デジタルCDG
SKYキャパシタンスダイアフラムゲージ
アナログCDG
熱陰極ゲージ
ピラニゲージ
冷陰極ゲージ
真空計コントローラ
真空スイッチ
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