INFICONのVSC150真空スイッチは0.5から2000mbarの調整可能な電子スイッチングコンタクトがついた、完全な圧力スイッチです。メカニカルデザインは3000mbarのオーバーロードを短期間で行い、±0.1mlbの単位でスイッチの正確さを保ちます。VSC150真空スイッチは顧客用の気圧設定が事前に調整されています。
利点
- スイッチの高い精度 (±0.1 mbar）
- 安定した長期オペレーション特性
- 頑丈で耐腐食性に優れたデザイン
- スイッチング増幅器として使う場合はスイッチの送電容量が増加
- リファレンスチャンバーのスイッチングコンタクト（通常は閉じた状態）がプロセス媒体から保護
- 差動圧力計測用のアダプター
用途
- 圧力スイッチまたは差動圧力スイッチでバルブ、ポンプ、パワー供給をコントロール
- ロードロックチャンバー
- プロセスチャンバー
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - VSC150 Vacuum Switch (tiba32e1.pdf)
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - VSC150 Vacuum Switch (tina42e1.pdf)
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