최대 8개 재료의 동시 증착
CIGS 박막에 이상적
Guardian은 0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도를 제어할 수 있습니다. 1개 또는 2개의 센서, 최대 8개의 광 입력을 작동하고 최대 8개의 증착 소스를 제어하여 최대 8가지 재료의 동시 증착이 가능합니다.
INFICON Guardian은 광전지 모듈, OLED, 광전 변환, 초전도 박막 및MBE와 같은 분야에 이상적입니다.
Guardian 동시 증착 시스템은 전자 충격 방사 분광법(EIES)을 바탕으로 하고 있습니다. EIES 기술에 대해 자세히 알아보려면 여기를 클릭하세요.
특징 요약
- 최대 8가지 재료의 증착을 동시에 감시 및 제어
- 0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도 제어
- 통합 EIES 및 QCM 박막 공정 제어
- 12개의 릴레이 출력과 16개의 디지털 입력
- 설치 및 사용을 위한 Windows 기반 소프트웨어
- INFICON Sentinel® 센서와 호환
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Guardian Co-Deposition Controller
English
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Configuration Guide - Guardian Co-Deposition Controller
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - Guardian Co-Deposition Controller
English
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Software:
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Software - Guardian_EIES_V5.11
English
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