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>    진공 게이지   

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> 누출 검출기
> 박막 증착 컨트롤러/모니터
> 석영 모니터 크리스탈
> 석영 크리스탈 센서
> 잔류 가스 분석기
> 전자빔 건 도가니 인덱서
> 진공 게이지
 
•  BCG450 TripleGauge Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
•  BPG400 Bayard-Alpert Pirani Gauge
•  BPG402 Bayard-Alpert Pirani Gauge
•  CDG025 AllCeramic Capacitance Diaphragm Gauge
•  CDG025D Capacitance Diaphragm Gauge
•  CDG045D Capacitance Diaphragm Gauge
•  CDG100D Capacitance Diaphragm Gauge
•  CDG160D/200D Capacitance Diaphragm Gauge
•  HPG400 High Pressure Ionization Pirani Gauge
•  MPG400 / MPG401 Inverted Magnetron Pirani Gauge
•  PCG550 Pirani Capacitance Diaphragm Gauge
•  PEG050 Penning Gauge
•  PEG100 Penning Gauge
•  PGD400 Pirani Gauge Display
•  PSG050 / PSG051 Pirani Standard Gauge
•  PSG100 / PSG101 Pirani Standard Gauge
•  PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S Pirani Standard Gauge
•  PSG55X Pirani Standard Gauge
•  VGC401 / VGC402 / VGC403 Vacuum Gauge Controller
•  VSA100 Vacuum Switch
•  VSA200 Vacuum Switch
•  VSC150 Vacuum Switch
   
> 진공 밸브 및 가스 주입 시스템
> 진공 컴포넌트
> FabGuard 통합 소프트웨어
> Guardian 공증착 컨트롤러
> RF 감지 기술



진공 게이지
INFICON 진공 게이지는 소형 디자인에 탁월한 정밀도와 신뢰성을 제공합니다. 다수의 기술을 하나의 컨트롤러로 결합하여 진공 공정의 압력을 측정하고 제어합니다.

  • INFICON 세라믹 정전용량 다이어프램 게이지(CDG)는 온도 및 기계적 안정성, 제로 드리프트, 정확성, 반복성 및 내식성 등에서 모든 금속 다이어프램 CDG 보다 성능이 우수합니다. 기존 기술을 혁신시킨 INFICON 세라믹 정전용량 다이어프램 게이지는 기존의 금속 다이어프램 대신 초순수 산화알루미늄 세라믹 다이어프램을 사용하여 탁월한 진공 측정의 정확성과 반복성을 제공합니다.

  • 가스 유형과 독립적인 INFICON 피라니 정전용량 다이어프램은 특허받은 듀얼 피라니 센서와 가스 유형에 독립적인 세라믹 정전용량 다이어프램 기술을 결합하여 비용과 공간을 절감하는 게이지 입니다.

  • INFICON 베이야드 알퍼트 정전용량 다이어프램 게이지는 하나의 소형 게이지, 하나의 연결, 하나의 센서 케이블 및 하나의 A/D 컨버터로 13 데케이드를 측정하므로 복잡성과 비용이 획기적으로 줄어듭니다.

SKY 정전용량 다이어프램 게이지
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SKY CDG025 - AllCeramic 정전용량 다이어프램 게이지




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