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FabGuard 产品套件
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在一个全集成式系统中完成采集、分析、阻止和报告
FabGuard® 被设计为适用于所有用户和所有情形的工厂’ FDC 系统。 它将功能全面的数据采集和分析与广泛的企业级功能完美结合。
采集和分析
- MHz 模拟数据收集
- > 10 Hz 工具数据收集（如果工具可用）
- 本地动态控制先进传感器。 （本地控制功能允许将传感器用于 FDC 和非 FDC 应用，例如泄漏检查和射频输送故障排除）
- 工具逻辑信息
- 用于终点和重要故障检测的数据点逐一分析
- 复杂的数据准备，包括调制（数学变换）、成帧和汇总
- 高级建模，包括
- 多变量故障检测： PCA、判别式分析、包络线
- 利用配方优化执行虚拟计量： PLS、逐步回归
- 根本原因调查
- SPC： 单变量和多变量
企业
- 灵活的数据库，具有大量的数据挖掘工具，可用于对工具、过程、产线和工厂进行总结和比较。
- 从任何报告、警报等完全向下钻取至原始数据
- 中央管理，可通过 Web 浏览器远程访问
- 工厂范围、多级别安全性
基于过程和工具知识提供支持
INFICON 提供本地工程师技术支持，这些工程师不仅掌握 FDC 软件，而且还熟知工具和过程。 这意味着，我们可以帮助客户为每款工具设置最有效的系统。 无论是 CVD 中的污染问题、蚀刻中的功率输出问题、光刻中的光阻监控问题，还是用于预测产量的高级建模问题，INFICON 工程师都拥有丰富的经验和深厚的知识，可以帮助解决。
丰富的用户经验为您提供更多功能优势
INFICON 将客户视为合作伙伴，了解随着工业过程日趋复杂化，客户的需求变化。 FabGuard 产品综合考虑了全球各地众多工厂众多用户的需求，您可从所有这些用户的经验中受益匪浅。 与此同时， INFICON 始终严格保持专有信息的机密性。 绝不会发布客户如何使用功能等信息。
开放式设计 – 让 FabGuard 承担一切或直接访问数据，帮助您创建自己的功能
尽管 FabGuard 是一个功能全面的产品，不过，我们理解您可能偶尔需要添加自己的功能。 而这可以通过完一个全开放式的数据库架构、数据导出功能及特定 API 来实现。 您可以请求原始数据或预处理数据，执行自己的分析，以及将结果重新插入到 FabGuard 中，从而重新利用现有报告和数据库挖掘功能。
灵活的定向培训以满足您的特殊需求
INFICON 针对 FabGuard 系列产品提供广泛的培训计划。 培训从基本系统使用到高级多变量建模，再到系统管理，范围广泛。 此外，培训计划还包括使用在线培训系统，该系统让学生仅需简单地访问 Internet 即可亲身参与培训。
工厂中的多类用户帮助您更快地实现 ROI
FabGuard 远不只 FDC 系统那么简单。 它还同时适用于三类用户： 先进过程控制与产量管理、过程工程师和设备工程师。
FabGuard 的设计适用于目标各有不同的多类用户同时使用本产品。 中央管理的 SPC 报告起着保护作用，而对具体腔室执行手动故障排除可以实现更快速的设备维修和恢复。 多个小组可以使用同一 FabGuard 软件，这无疑大大加快了采购 ROI 的实现。
详细了解 FabGuard
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