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Guardian ™ 共沉积控制器
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同时沉积多达八种材料
适合 CIGS 薄膜
Guardian 可以控制速率介于 0.1 至 10,000 Å/s 之间的沉积过程。它可以操作一两个传感器、最多 8 个光输入以及控制多达 8 个沉积源，实现最多 8 种材料共沉积。
INFICON Guardian 是光伏组件、OLED、光伏装置、超导薄膜以及 MBE 制造应用的理想之选。
Guardian 共沉积系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES) 技术而构建。 单击此处详细了解 EIES 技术。
功能概览
- 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
- 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
- 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
- 12 个继电器输出和 16 个数字输入
- 用于设置与操作的基于 Windows 的软件
- 与 INFICON Sentinel® 传感器兼容
相关技术资料
Software:
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Software - Guardian_EIES_V5.11
English
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产品样本和数据表:
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Brochure - Guardian Co-Deposition Controller
English
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Configuration Guide - Guardian Co-Deposition Controller
English
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操作及维修手册:
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Operating Manual - Guardian Co-Deposition Controller
English
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