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电子碰撞发射光谱 (EIES)
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Guardian 共沉积控制系统由电子碰撞发射光谱 (EIES) 提供强力支持，适合于控制 CIGS 光伏装置、MBE、OLED 和超导薄膜等应用中的多种材料同时共沉积过程。
利用 EIES，要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热，从而产生光子。 产生的光通过光滤波器达到光电倍增管 (PMT) 检测器，光电倍增管检测器可以测量所通过波长的发射强度。 然后，INFICON Guardian 控制器产生信号来控制该材料源。 对于多种材料，可以将其他检测器与相应的光滤波器结合使用。
完整的 Guardian 系统至少包括一个传感器、一个检测器、一个光滤波器、一个控制器/接口装置以及一个安装有 Guardian、与 PC 兼容的计算机（用户自备）。 EIES 通常用于控制多种材料的沉积，因此，大多数 EIES 系统还包括其他传感器、检测器、光学器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校准或控制某些材料的沉积速率。 方块图（右）显示了典型的 Guardian 系统配置。 在此系统中，Guardian 控制四种材料的沉积速率，三种材料使用 EIES 控制，一种材料使用 QCM（石英晶体微天平）控制。 （用于光伏应用中 CIGS 材料沉积的常见配置。）
要配置 Guardian 共沉积系统，需要考虑以下几点
沉积材料的初级和二级发射波长分别是多少？
如果不同材料的峰值相近，您可能需要监控二级波长（信号强度较低）。
沉积过程中，真空室中存在哪些本底气体？这些气体对应的发射波长是多少？
如果本底气体的发射对沉积材料造成干扰，建议使用气体补偿传感器。
EIES 使用唯一定义的原子种类范围时最有效。 分子种类产生的发射光谱不稳定或者过宽，无法准确测量。 不建议将 EIES 用于有机材料。 各个具体应用的最佳 EIES 系统配置由以上因素及其他因素确定。
相关技术资料
技术资料:
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Learn how EIES can improve the fabrication of CIGS films.(pdf)
English
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