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Transpector 残余气体分析仪 (RGA)
INFICON 残余气体分析仪 (RGA) 作为诊断工具,帮助过程工程师连续监控制造过程所产生的污染气体,并检验目标过程气体的含量。

Transpector® 气体分析系统系列仪器
Transpector 气体分析仪为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。

Transpector 2 气体分析系统
高灵敏性改善污染控制;这款 RGA 在半导体制造业中,为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。

Transpector XPR3L 气体分析系统
经济实惠、有效的过程气体以及对 PVD 过程的实时基本真空监控。

Transpector XPR3 气体分析系统
无需复杂压力转换的 PVD 压力过程监控;以空前的灵敏度、精确性和灵活性监控物理气相沉积 (PVD) 过程。

Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型综合气体分析,非常适用于现场复杂过程监控的功能全、紧凑和经济的气体分析仪。

Transpector 软件
用于 Transpector 气体分析系统的过程特性化软件

Transpector CPM 紧凑型过程监控器的手推车
移动排除故障的自带车

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Transpector 2 气体分析系统 - 高灵敏性改善污染控制




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Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型气体分析仪,非常适合//现场//监控复杂过程。

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