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SKY 电容式隔膜真空计 AllCeramic CDG025-C
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SKY AllCeramic CDG 所有暴露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成，取代了传统 CDG 的不锈钢管件。 对于必须避免金属污染的应用，此产品是首选工具。
优势
- 无金属污染
- 极小的零位偏移
- 真正耐腐蚀 - 传感器使用寿命长，从而可减少停机时间，进而降低拥有成本
- 在长时间运行过程中具有优越的精度和可重复性
- 更好的长期稳定性和温度稳定性
- 消除隔离阀（取决于操作模式）
- 不易受防护罩产生的粒子和过程副产品的影响
- 最短的预热时间
- 更低的投资成本
- 凭借接口兼容性方便地替换现有 CDG
应用
- 蚀刻、CVD 和 PVD 过程
- 使用注入或扩散过程给硅加入掺杂剂
- 氧化
- 在 100 的范围内形成栅极氧化层
- 形成阻挡层（Ti、TiN、Ta 和 TaN，用作硅与铝或铜之间保护层）
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Datasheet - CDG025 All Ceramic Capacitance Diaphragm Gauge
English
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技术资料:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
English
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操作及维修手册:
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Operating Manual - CDG025-C (tinz11e1.pdf)
English
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